如果想獲得高真空的話必須選用
氣冷羅茨往復泵真空機組，而真空機組需要的羅茨真空泵不能直排大氣，如直排大氣會形成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會形成羅茨真空泵過熱致使羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱收縮而卡死。為保證羅茨真空泵能到達較高真空必需保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵運用時必需設有前級泵，用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此能夠防止羅茨真空泵過載。前級泵能夠選用水(液)環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
氣冷羅茨往復泵真空機組在普通狀況下，選用水環泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮油封機械真空泵掃除可凝性蒸汽才能不夠，或運用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統不允許油污染的時分更為明顯。
主泵怎么選擇好
一、根據真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。
一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數量級。
二、根據真空室進行工藝生產時所需要的工作壓力選主泵。
真空泵選型中選擇主泵的時候應正確地選擇主泵的工作工藝環境，在其工作壓力范圍內，應能排除真空室內工藝過程中產生的全部氣體量。因此，真空室內的工作壓力一定要在主泵的抽速壓力范圍之內。
三、根據真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選擇主泵。
真空泵選型中，真空室體積大小對系統抽到極限真空的時間有影響。當抽氣時間要求一定時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。
四、正確地組合真空泵。
因為各種真空泵的性能不同，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。
五、若真空系統嚴格要求無油時，則應該選各種無油泵作主泵。如果要求不嚴格，則可選擇有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
六、選擇真空泵時，應該知道被抽氣體成分，針對被抽氣體成分選擇相應的真空泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆粒灰塵等，則應該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等，或在泵的進氣口管道上安裝輔助設備。
七、根據整套真空系統的初次投資和日常維護費用等經濟指標選擇主泵。
